X射线荧光光谱技术是探测物质中微量元素的种类和含量的一种技术，是利用原级X射线光子或其它微观粒子激发待测物质中的原子，使之产生次级的特征X射线而进行物质成分分析和化学态研究。

X射线荧光光谱线本底扣除

    X射线荧光光谱分析法中，由于X射线同物质的相互作用，如相干射散、非相干射散、康普顿射散等原因，使得特征X射线的全能峰叠加在一定的本底之上。在定性和定量分析中，要获得谱峰和谐峰面积的净强度、对本底进行准确的扣除。如何进行本底扣除是一个关键且困难的技术。实际上X射线荧光光谱可以看作是有频率较高的全能峰线性叠加频率较低的本底曲线构成。其较基本的特征就是利用不同的尺度，将被分析的信号分解为不同频率范围内的信号分量，这和X荧光谱线的复杂频率特征是相适应的。对X射线荧光光谱进行多分辨分析，选择合理的小波基和尺度，可以实现谱峰的不断剥离，剩下的就是X荧光谱线的本底。

X射线荧光分析基体校正

    基体效应又叫吸收增强效应，它是X射线荧光分析工作的一个比较麻烦的问题，随着计算机技术的发展，在轻便型X荧光谱分析中，已开始采用数学校正法校正元素间的相互影响，其方法可分为经验系数法、理论系数法、基本参数法三类。

    经验系数法是通过测定一定数量的一组标样，根据所给出的组份化学分析值和测得的荧光强度数据，通过非线性较小二乘法求得影响系数，较后进行元素定量分析。

    理论影响系数法是在20世纪发展起来的，也是受计算工具的限制，人们总是寻找简单的数学模型，而又依从X荧光的基本理论，这种理论影响系数法有多种模式，其数学模式是从Sherman方程推导出来的，只是各自采用了某种假设或者近似，目前应用比较广泛，可对基本情况变化较大的样品进行计算。

    基本参数法是应用荧光X射线强度理论计算公司及原级X射线的光谱强度分布、质量吸收系数、荧光产额、吸收限跃迁因子和谐线分数等基本物理常数、通过复杂的数学迭代运算，把测量强度装换为元素含量的一种数学校正方法，该法影响因数复杂，计算量巨大，其计算准确性主要取决于理论相对强度计算的准确性，它需要的标样很少，但基本参数值的相对误差可达2%~5%，基本组成也不要求与标样相似，在适当条件下，使用单标样甚至不用标样也可以给出近似的可接受结果，基本参数法可以有效的降低对标样数量的要求，是无标样定量分析的根本。